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仪器名称

型号

X射线光电子能谱（XPS）

赛默飞 K-Alpha

主要技术参数

1、分析器：180°双聚集半球分析器；128通道检测器

2、X射线单色器可选择30 μm至400 μm大小的分析区域，步长 5 μm

3、离子枪：能量范围100至4000 eV

4、四轴样品台：60 x60毫米样品区域；比较大样品厚度20毫米

应用范围

元素的定性、定量分析；元素价态鉴定；固体表面组成、化学状态分析；化合物结构分析；富集法微量元素分析；分子生物化学等。

仪器特点

1、 X射线单色器可用于化学态高分辨分析

2、 微聚焦X射线探针可用于绝缘材料的分析

3、 先进的光学观察系统可用于对中样品上微小结构和污染点分析位置

4、 聚焦深度剖析离子源可用于单层和多层膜分析

5、 一键式中和系统可用于精确的小面积分析

6、 128通道探测器用于快速并行快照式采集数据

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